工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,但對純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。特種氣體興起于60年代中期,作為基礎(chǔ)化工材料,主要運用于大型石油化工、半導(dǎo)體器件、光導(dǎo)纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領(lǐng)域。隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展,其應(yīng)用范圍也越來越廣泛。特種氣體是電子工業(yè),特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體,該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個必然方向,這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進步以滿足純度的要求。
電子工業(yè)是當(dāng)今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。有氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當(dāng)?shù)奈kU標(biāo)記(例如、、有毒等) 。 特種氣體(Specialtygases) 氣體工業(yè)名詞,是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。
特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用:晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2,減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3,刻蝕工藝用到 CF4;特種氣體的儲存注意事項:高壓容器內(nèi),存有內(nèi)容物時,無論內(nèi)容量多少,在該容器儲存場地2m內(nèi),嚴(yán)禁明火或放置燃、可燃物。場所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。特種氣體的儲存注意事項:儲存場地的道路,應(yīng)占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區(qū)分存放。充填容器入庫前需檢漏,長期存放的充填高壓容器需要每月復(fù)檢一次,并做記錄。
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